장비 제조 전문기업 아바코가 아바텍과의 협력을 기반으로 차세대 반도체 패키징용 유리기판의 TGV(Through Glass Via) 공정을 검증할 수 있는 파일럿 라인(515x510mm) 운영을 시작하며 시장 진출을 가속화하고 있다고 11일 밝혔다.
TGV 유리기판을 제조하기 위해서는 안정적인 글라스 공급뿐만 아니라 레이저 비아 형성, 식각, 금속층 증착 및 검사 등 전 공정에 대한 장비와 기술이 함께 확보돼야 한다.
개별적인 설비 개발만으로는 실제 유리기판 제조 사업을 추진하기는 쉽지 않다. 식각 공정의 양산 적용 경험과 다양한 유리 소재 확보 또한 뒷받침 돼야 한다.
아바코와 아바텍은 주요 유리 소재 업체들과 NDA 체결 및 공급 협력을 통해 다양한 종류의 유리를 확보하고, 이를 기반으로 TGV 공정 개발이 가능한 기초 인프라를 올해 상반기 기준으로 구축 완료했다.
현재 아바코의 TGV 장비와 아바텍의 공정 운영 역량을 결합한 유리기판 TGV(515x510mm) 파일럿 라인의 운영을 시작했다.
회사는 지난 2023년부터 TGV 장비 및 공정기술 확보를 위해 연구개발 인력과 자원을 지속적으로 투자해 왔다.
대표 장비인 2세대 TGV 레이저 가공 장비 ‘AXIUM AP-250K’는 초당 1만홀 수준의 가공 속도와 듀얼 광학 헤드를 기반으로 대면적 유리 패널을 균일하게 가공할 수 있도록 설계됐다. 또한 ±5㎛ 이하 수준의 공차 제어를 통해 차세대 반도체 패키징 공정에 필요한 정밀도를 확보했다.
레이저 가공 이후 공정을 위한 알칼리계 식각액 기반 식각 및 시드 레이어 증착 장비도 확보했다. 아바코는 PVD 공정과 하이브리드 방식을 활용해 TGV기판 디자인에서 중요한 고종횡비(홀 사이즈/글라스 두께 비율) TGV 내부 형상 제어와 균일한 금속층 형성을 위한 공정기술을 고도화하고 있다.
최근에는 레이저 가공, 식각 및 증착 과정에서 발생할 수 있는 결함을 검출하는 광학 검사장비도 확보했다. 해당 장비는 TGV 홀의 형상과 가공 품질을 전수 검사하고 자동화 라인과 연계할 수 있도록 개발돼, 양산 공정에 필요한 검사 기준과 품질관리 체계를 마련하는 데 활용될 예정이다.
이를 통해 아바코는 TGV 레이저 가공부터 식각, 시드 레이어 증착, 광학 검사까지 이어지는 통합 공정 솔루션의 완성도를 높이고 있다. 파일럿 라인에서는 개별 장비의 성능뿐만 아니라 공정 간 연계성과 반복 생산 시 품질 안정성도 함께 검증할 계획이다.
아바텍은 디스플레이용 유리 식각 및 박막 공정에서 축적된 양산 경험을 바탕으로 파일럿 라인에 참여해 실제 양산 환경 관점에서 공정 운영과 안정성 검증을 담당하고 있다.
양사는 파일럿 라인에서 제작한 샘플을 활용해 국내외 고객사를 대상으로 공정 평가와 기술 협력을 추진하고, 유리기판 상용화 과정에서 요구되는 생산성과 공정 안정성, 품질관리 기준을 지속적으로 고도화할 예정이다.
아바코 관계자는 “유리기판 시장에 진입하기 위해서는 개별 장비 개발을 넘어 전체 공정을 연계해 검증할 수 있는 기반이 필요하다”며 “아바텍과의 협력을 통해 장비와 공정, 그리고 양산 운영 경험을 유기적으로 연결하고, 고객사가 요구하는 최종 양산 제품을 제공할 수 있는 TGV 통합 솔루션을 구축해 나가겠다”고 말했다.
