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테라뷰, 국내 반도체 기판 제조사와 10억원 규모 검사장비 공급계약 체결

남지완 기자

입력 2026.11.03 08:55

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기존 고객사 해외 생산거점에 'EOTPR 4500' 추가 공급… 10월 이후 수주 지속

테라뷰 EOTPR 장비 내부 광학 시스템. 사진=테라뷰


테라뷰는 지난 2일 국내 첨단 반도체 기판 제조사와 10억9800만원 규모의 반도체 검사장비 'EOTPR 4500' 공급계약을 맺었다고 3일 밝혔다.

계약기간은 이달 2일부터 2027년 11월 19일까지다. 고객사명은 계약상대방의 영업비밀 보호 요청에 따라 비공개로 유지된다.

이번 계약은 기존 국내 고객사의 주요 해외 생산거점에 EOTPR 4500을 추가 공급하는 후속 수주다. 해당 고객사는 기판 수요 증가에 대응해 생산을 확대하고 있으며, 이에 맞춰 해외 생산거점에도 EOTPR 장비 도입을 늘리고 있다.

EOTPR 4500은 기존 전기검사나 2차원 X-ray 검사에서 식별하기 어려운 미세균열과 단선·단락, 층간 박리, 칩 간 연결부 불량 등을 분석하는 테라헤르츠(THz) 기반 검사장비다. 검사 대상을 손상시키지 않고 내부 연결부의 전기적 결함 위치를 정밀하게 파악한다. 이 장비는 반도체 기판뿐 아니라 GPU·HBM 등 첨단 반도체 패키지의 고장분석과 품질검증에도 활용된다. 반도체 설계사와 파운드리, 후공정 기업 등 다양한 고객군에 공급되고 있다.

테라뷰는 최근 신규 고객 확보와 기존 고객의 추가 도입을 통해 수주를 이어가고 있으며, 글로벌 AI 반도체 고객사의 요청에 따라 외부 검사·계측 파트너사에 장비를 공급했다.

지난 10월에는 신규 하이퍼스케일러 수주를 포함해 총 세 건의 반도체 검사장비 공급계약을 공시했다. 이번 국내 기판 제조사 후속 수주까지 더해지며 반도체 검사장비 공급 기반을 강화하고 있다.

도널드 도미닉 아논 테라뷰 대표이사는 "이번 계약은 국내 고객사의 주요 해외 생산거점에 대한 후속 수주로, 고객사가 생산량 확대에 맞춰 생산거점별로 EOTPR 장비를 추가 도입하고 있다는 점에서 의미가 있다"고 말했다.

이어 "이번 공급은 AI 가속기용 칩렛 소자와 기타 시스템온칩(SoC)의 칩 간 연결부를 검사하는 핵심 기술로서 EOTPR의 가치를 보여주는 사례"라며 "EOTPR은 기판을 포함한 AI 가속기 주요 부품의 검사에 활용되며 고객사의 생산 확대 계획에 반영되는 표준 검사기술로 자리 잡아가고 있다"고 덧붙였다.


남지완 기자 ainik@finance-scope.com

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